真空光电半导体管配件

真空元件是真空技术重要的一环，在装配真空产品线上，这些真空设备的零组件都是必须的，像法兰、垫片、弯管、三通、十字等；在真空技术应用面上，对于产品材质选用与制作都有着较高的要求，并且会随着不同的应用有不同的标准；EFT不但拥有制造这些标准产品的技术，还提供了广泛的产品选择，也提供真空产品客制化服务，会随着客户所需来满足其要求；真空产品相关详细资讯可参考真空光电半导体管配件页面。

KF真空产品KF Flange
KF真空产品KF Flange
小型法兰(Flange)或KF标准法兰(DIN 28403, ISO 2961)是一种直径可大到DN50、可应用于粗糙、精细等各方面的标准化真空产品；位于法兰之间的中心圈或称垫片(Seal)可由内圈(centering ring)、O形环(O-ring)组成，然后藉由管束将两个法兰固定住；从内部倾斜到外部锥形的法兰皆是管束能处理的范围，通常内圈和标准管束会与蝶形螺母(wing nuts)一起混用；这些组件能够在不使用任何工具下容易且快速地装配；内镶内圈(trapped centering rings)、特殊管束或管束项圈则是用于特殊应用，爪夹(claw clamps)或舱壁夹(bulkhead clamps)则可用于墙上设备安装。
ISO真空产品ISO Flange
ISO真空产品ISO Flange
当KF真空元件符合公制接口尺寸(metric interface dimensions)时，我们称它具有ISO标准的KF真空元件，此类元件具有高度的兼容性，对于不同来源的元件彼此可以共用；EFT的ISO KF管件尺寸十分地齐全，从DN16~DN50都有，KF法兰及管件方面则采用304不锈钢材质制造。 ISO KF真空元件在真空系统装配与拆解方面无疑是最理想的选择，每个真空垫片(Seal)皆使用位于对接法兰之间的内圈O形环制造，制造的速度十分迅速，在金属链铝管束的蝶形螺母(wing nuts)开关几秒间便可以完成。法兰除了KF系列外，尚有LF和CF系列；ISO KF模组建构元件族，其范围涵盖了标准管配件、密封装置与配件，不同尺寸的元件皆可用大小头做连接。
CF真空产品CF Flange
CF真空产品CF Flange
随着超高精密真空技术(Ultra High Vacuum；UHV)的产生，在材料与其周边的应用有着日益渐广的需求，因此造就了CF标准的诞生(ISO 3669；Enhancement ISO/TS 3669-2)； CF法兰(Flange)为一种使用CNC加工不锈钢圆胚的产品，分为可动式与固定式，可动式CF法兰(Rotatable flange)为一种一组两件式的法兰，其中包含了内部密封盲盖(seal face)与外部螺栓孔(bolt holes)，为了与盲盖相结合，外圈有着环状沟槽的设计；法文"Diamètre Nominal"等同于英文”Nominal Bore”，”DN”为法文"Diamètre nominal"的缩写，口径(Bore)指的是与管配适的法兰内径之所以称文Nominal则是因为管径内壁厚度会变动的关系。
真空波纹管Bellow
真空波纹管Bellow
EFT304 (1.4301) 锈钢管件因为允许横向移动(lateral movement)、离轴移动(off-axis movement)与隔离振动且其材料以每米定价所以很适合应用在在高精密与超高精密真空元件上；EFT擅长制作边焊波纹管接头(edge-welded bellows connectors)等UHV产品，此外还提供焊式CF、ISO KF和LF法兰等产品，EFT的波纹管由304材质制造，特别是应用于UHV的波纹管更是使用最高清洁水准来制造，除此之外，EFT还接受特殊波纹管订制与客制要求等服务。
真空管件Fitting
真空管件Fitting
EFT的ISO KF与ISO LF管配件是很好用的建构组件，可以使用他们建构出高水准的真空系统，让产品设计更加地灵活；EFT使用不锈钢304材质与焊式真空管件来制造此类型管件；由于完全对称的缘故，所以法兰并不需要为可动式；但如果需要，可以加装可动式螺栓环组件(rotatable bolt ring assemblies)到瓜夹式法兰或增加螺栓孔到ISO LF管件上；为配合法兰尺寸大小上的改变可以搭配大小头，其内含垫片有ISO KF和LF法兰的橡胶垫片等，除了一般标准制造外，EFT还提供客制化服务，以满足客户的需求。
转接头Adaptor
转接头Adaptor
EFT混合式转接头是一种可以转换密封方法(method of sealing)的工具，这些转接头的特色在于每一次呈现出的几何图形都是不同的，其变化多于特定密封法的尺寸改变；他们大都能从共同接口转换对件取得，转换器分为两大类：标准真空法兰联合对件、其他标准法兰联合管配件；从金属垫片法兰变到O型环垫片(O-ring seal)法兰或管件，这样的转变是很常见的，然而转换时规格大都受限于O型环垫片，该O型环垫片至少包含一种非金属垫片，因此受限只能应用在高真空系统，规格请参照个别组件部分；当法兰密封改变尺寸时尤其是金属密封对金属密封就需要使用大小头(reducers)，因此能够于每个法兰的配件中发现大小头的踪迹。EFT还提供客制化服务，以满足客户的需求。